機電一體化(huà)的(de)發展大(dà)體可(kě)以分(fēn)爲3個(gè)階段。20世紀60年代以前爲第一階段，這(zhè)一階段稱爲初級階段。在這(zhè)一時(shí)期，人(rén)們自覺不自覺地利用(yòng)電子技術的(de)初步成果來(lái)完善機械産品的(de)性能。特别是在第二次世界大(dà)戰期間，戰争刺激了(le)機械産品與電子技術的(de)結合，這(zhè)些機電結合的(de)軍用(yòng)技術，戰後轉爲民用(yòng)，對(duì)戰後經濟的(de)恢複起了(le)積極的(de)作用(yòng)。那時(shí)研制和(hé)開發從總體上看還(hái)處于自發狀态。由于當時(shí)電子技術的(de)發展尚未達到一定水(shuǐ)平，機械技術與電子技術的(de)結合還(hái)不可(kě)能廣泛和(hé)深入發展，已經開發的(de)産品也(yě)無法大(dà)量推廣。
      20世紀70~80年代爲第二階段，可(kě)稱爲蓬勃發展階段。這(zhè)一時(shí)期，計算(suàn)機技術、控制技術、通(tōng)信技術的(de)發展，爲機電一體化(huà)的(de)發展奠定了(le)技術基礎。大(dà)規模、超大(dà)規模集成電路和(hé)微型計算(suàn)機的(de)迅猛發展，爲機電一體化(huà)的(de)發展提供了(le)充分(fēn)的(de)物(wù)質基礎。這(zhè)個(gè)時(shí)期的(de)特點是：①mechatronics一詞首先在日本被普遍接受，大(dà)約到20世紀80年代末期在世界範圍内得(de)到比較廣泛的(de)承認；②機電一體化(huà)技術和(hé)産品得(de)到了(le)極大(dà)發展；③各國均開始對(duì)機電一體化(huà)技術和(hé)産品給以很大(dà)的(de)關注和(hé)支持。
      20世紀90年代後期，開始了(le)機電一體化(huà)技術向智能化(huà)方向邁進的(de)新階段，機電一體化(huà)進入深入發展時(shí)期。一方面，光(guāng)學、通(tōng)信技術等進入了(le)機電一體化(huà)，微細加工技術也(yě)在機電一體化(huà)中嶄露頭腳，出現了(le)光(guāng)機電一體化(huà)和(hé)微機電一體化(huà)等新分(fēn)支；另一方面對(duì)機電一體化(huà)系統的(de)建模設計、分(fēn)析和(hé)集成方法，機電一體化(huà)的(de)學科體系和(hé)發展趨勢都進行了(le)深入研究。同時(shí)，由于人(rén)工智能技術、神經網絡技術及光(guāng)纖技術等領域取得(de)的(de)巨大(dà)進步，爲機電一體化(huà)技術開辟了(le)發展的(de)廣闊天地。這(zhè)些研究，将促使機電一體化(huà)進一步建立完整的(de)基礎和(hé)逐漸形成完整的(de)科學體系。
      我國是從20世紀80年代初才開始在這(zhè)方面研究和(hé)應用(yòng)。國務院成立了(le)機電一體化(huà)領導小組并将該技術列爲“863計劃”中。在制定“九五”規劃和(hé)2010年發展綱要時(shí)充分(fēn)考慮了(le)國際上關于機電一體化(huà)技術的(de)發展動向和(hé)由此可(kě)能帶來(lái)的(de)影(yǐng)響。許多(duō)大(dà)專院校、研究機構及一些大(dà)中型企業對(duì)這(zhè)一技術的(de)發展及應用(yòng)做(zuò)了(le)大(dà)量的(de)工作，已經取得(de)了(le)一定成果，但與日本等先進國家相比仍有相當差距。